高純級(EL級)過氧化氫:該產品金屬雜質含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子,達到SEMIC1、C2標準,適合中小規模集成電路及電子元件加工工藝。
產品包裝規格:30公斤/桶,200公斤/桶,1000公斤/桶,以及30噸槽車。
產品介紹:電子級過氧化氫(UP級)使用0.8微米以上集成電路及TFT-LCD制造工藝,金屬雜質含量小于10PPb,產品經過0.2微米孔徑過濾,控制0.5微米粒子,在100級凈化環境中灌裝達到SEMIC7標準,產品主要用作半導體硅晶片清洗劑,蝕刻劑和光刻膠去除劑,還可用于要求較高的緣層制取,電鍍液無機雜質去除,電子行業中銅、銅合金和鎵、鍺的處理,以及太陽能硅晶片的燭刻和清洗。在處理過程中,試劑中的雜質會對元器件性能產生致命影響,因此,超凈高純過氧化氫對純度的要求非??量?。